半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

悪夢を止めよう：ヒーターが故障したときでもウェーハを清潔に保つ方法 半導体クリーンルームで働いたことがある人なら、その状況をよく知っているでしょう。赤外線ランプが壊れると、突然、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。これはまさに大災害です。瞬時にウェーハが汚染され、廃...