実際の現場で使用できる赤外線ランプ 私たちがこの赤外線ランプを作ったのは、最高性能の製品に高額な費用を払うのにうんざりしているエンジニアのためです。これは、普段使っている高価な海外ブランドの部品に代わる、高性能な代替品です。特にウェーハの乾燥に最適です。つまり、生産ラインを止めないように、十分な熱...

製造現場では、ウェハーが最終すすぎから出てきて、そこから時計が動き始める。乾燥ヒーターが追いつかなければ、フォトレジストの下に水分が閉じ込められ、それが数時間後にリソグラフィの欠陥として現れる。われわれは、安定した熱をサイクルごとに途切れなく供給することで、このリスクを根本から排除するために...