MEMSウェーハを乾燥させるためのより良い方法 正直言って、MEMSセンサー用ウェーハを乾燥させるのは大変な作業です。水分を除去しなければならない一方で、残留物が残ってはいけず、また、極端な温度変化によって素材が損傷してしまってはいけません。長い間、私たちは単に対流式オーブンを使って乾燥させるしか...

なぜ私たちが工場でIR硬化法を採用するのか 乾燥工程のエネルギー消費をチェックするとき、私が最も重視するのは「工程の速度を落とさずに、どうやって炭素排出量を減らすか」という点です。 従来の対流式オーブンは、大量の空気を加熱する巨大な装置に過ぎません。これは完全な無駄遣いです。ウェーハを加熱するため...

実際の現場で使用できる赤外線ランプ 私たちがこの赤外線ランプを作ったのは、最高性能の製品に高額な費用を払うのにうんざりしているエンジニアのためです。これは、普段使っている高価な海外ブランドの部品に代わる、高性能な代替品です。特にウェーハの乾燥に最適です。つまり、生産ラインを止めないように、十分な熱...

製造現場では、洗浄後に残るわずかな水跡だけで、大量のウェハーが不良品になってしまうことがあります。従来の乾燥方法では、ウェハー表面に温度勾配が生じ、その結果、ソフトベイク後にフォトレジストの厚みに不均一性が生じます。私たちは、そうした不均一性を根本から解消するために、インフラーレッドヒーターを開発...

製造現場では、ウェハーが最終すすぎから出てきて、そこから時計が動き始める。乾燥ヒーターが追いつかなければ、フォトレジストの下に水分が閉じ込められ、それが数時間後にリソグラフィの欠陥として現れる。われわれは、安定した熱をサイクルごとに途切れなく供給することで、このリスクを根本から排除するために...