웨이퍼의 오염에 대해 걱정할 필요는 없습니다.
반도체 공장에서는 램프가 고장나는 것이 큰 문제입니다. 단순히 가동 중단만의 문제가 아니라, 그로 인해 웨이퍼가 오염되고 생산 효율도 저하됩니다.
저희도 같은 경험을 했습니다. 그래서 저희는 이중관 구조의 금 도금 램프를 개발했습니다.
비결은 바로 설계에 있습니다.
대부분의 램프는 모든 열을 한 곳에 집중시킵니다. 하지만 저희는 가열 요소를 두 개의 관으로 나누어 열을 분산시킵니다. 이렇게 하면 석영관의 특정 부분이 과도한 열을 견디지 못하는 상황을 방지할 수 있습니다.
전체 와트수는 동일하지만, 표면적이 넓어져서 유리가 더 시원하게 유지됩니다. 따라서 과도한 전력을 사용해도 석영관이 손상될 위험이 줄어듭니다.
그리고 금 도금도 중요합니다.
금 도금은 단순히 장식용이 아닙니다. 금 도금층은 거울과 같은 역할을하여 적외선을 웨이퍼 쪽으로 직접 보냅니다. 반사 효율이 매우 높기 때문에 목표 온도에 도달하기 위해 높은 전력을 사용할 필요가 없습니다.
램프를 더 시원하게 유지함으로써 필라멘트의 수명이 길어지고, 파손 위험도 크게 줄어듭니다.
깨끗한 환경을 유지하는 것도 중요합니다.
저가형 램프는 쉽게 부서지거나 가스가 발생합니다. 저희는 진공 증착 방식을 사용하여 금 도금층을 고정시킵니다. 그래서 아무리 열이 심해도 금 도금층이 제자리에 남아 있습니다. 만약 최악의 상황이 발생해 석영관이 파손된다 해도, 이중관 구조 덕분에 손상 범위가 작아져서 장비를 청소하는 데 많은 시간이 들지 않습니다.
설치 시 주의할 점:
냉각 팬을 꼭 확인해보세요. 해당 램프의 와트수에 맞는 팬인지 반드시 확인해야 합니다. 공기 흐름이 약하면 열이 장비 내부에 축적되어 이중관 구조의 장점이 사라집니다.
환기구도 깨끗하게 유지해야 합니다. 그리고 반드시 안정적인 전원 공급 장치를 사용하세요. 전압 변동은 필라멘트가 손상되는 가장 빠른 원인입니다.