MEMS传感器晶圆干燥加热器

更好的MEMS晶圆干燥方法 说实话，干燥MEMS传感器晶圆其实是一件很麻烦的事。必须去除其中的湿气，但同时不能留下任何残留物，而且也不能让材料因温度剧烈变化而受到损伤。长期以来，人们只能将晶圆放入对流式烤箱中试图让它们干燥。但实际上，有更高效的方法。 我们改用了短波红外线加热技术。与通过整个空间来...