ウエハーの汚染を心配するのはやめましょう。
半導体製造工場では、ランプの故障は大きな問題です。停電だけでなく、周囲が汚染されてしまうのです。高負荷状態でクォーツ管が破裂すると、破片が至る所に飛び散り、ウエハーが汚染され、歩留まりが低下してしまいます。
私たちも同じ経験をしました。だからこそ、2本のチューブを持つ金メッキランプを開発したのです。
秘密はレイアウトにあります。
ほとんどのランプでは、すべての負荷が1か所に集中します。しかし私たちは、加熱要素を2本のチューブに分けて配置しました。そうすることで、クォーツ管の特定の部分が過度な負荷を受けることがなくなります。
全体的な出力は変わりませんが、表面積が大きいため、ガラスがより冷却されます。その結果、高出力を使用しても、熱衝撃によってチューブが壊れる心配がありません。
そして、金メッキの効果です。
これは見栄えのためではありません。金メッキは鏡のように作用し、赤外線をウエハーに直接届けます。反射率が高いため、目標温度に到達するために高い出力を使う必要がありません。
ランプを冷却することで、フィラメントの寿命が延び、爆発のリスクも大幅に減少します。
清潔さを保つことも重要です。
安価なランプは、しばしば剥がれたりガスが漏れたりします。私たちは真空蒸着法を用いて金メッキを施すことで、激しい高温でもメッキが剥がれないようにしています。万が一、チューブが壊れても、2本のチューブ構造のおかげで被害範囲が小さく抑えられ、機器を1週間も掃除する必要がありません。
設置時のヒント：
冷却ファンを確認しましょう。そのファンがこのランプの出力に対応しているか確認してください。空気の流れが弱いと、ハウジング内に熱が溜まり、2本のチューブ構造の利点が台無しになります。
通気口もしっかり確保しましょう。そして何よりも、安定した電源を使用してください。電圧の急上昇は、フィラメントが壊れる最も大きな原因です。