クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法
クラス100の環境では、失敗の代償は非常に大きい。わずかな皮膚の破片やほこりの粒子だけで、ウェハーが台無しになったり、高精度なレンズが使えなくなったりしてしまう。
問題は、一般的な加熱素子ではこれに対応できないということです。加熱・冷却の際に、微小な破片が発生してしまいます。これを解決するために、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用しています。これらは、ファブ内での使用を目的に特別に作られています。
石英が重要な理由
私たちは、普通のガラスや安価な素材は使用しません。ほぼ不純物が含まれていない融成シリカを使用しています。
なぜでしょうか？というのも、これらのランプが最高温度に達すると、安価な素材から金属酸化物が放出されてしまうからです。基板を清潔に保ちたい場合、これは好ましくありません。そのため、ランプを密封する前に、表面の残留物を化学的に除去します。そうすれば、安定した熱源が得られ、常に清潔な状態を維持できます。
電力と熱
これらのランプは、強力な熱を発生させるように設計されています。短波または中波の設定を使っても、ワット数と長さの比率を厳密に管理しています。
高いワット数を小さなサイズに込めることで、迅速に熱を上げることができます。これにより、周囲の機器が過剰な熱を吸収することが防がれます。
ただし、注意点があります。これらのランプは多くの電流を消費します。配線が適切でなければ、電圧降下が起こり、均一な硬化が行われず、不完全な製品になってしまいます。
安装について
フィラメントの外側から何も漏れ出さないように、密封されたエンドキャップを使用します。これらは、ほとんどのファブ用の硬化オーブンと交換可能です。
ただし、高純度の石英は、強化ガラスよりも少しもろいため、衝撃に弱いです。取り付け時に不均一な熱膨張が起こると、チューブが割れてしまう可能性があります。
ですから、取り付けブラケットを完璧に調整し、石英の外殻に圧力がかからないようにしてください。そうすれば問題ありません。