なぜカーボンファイバーIRがスマートファブの鍵となるのか
新しいスマートファブを構築する際、おそらく皆さんもご存知の通り、すべての要素を迅速かつ正確に接続する必要があります。しかし、多くの人が直面する問題があります。それが加熱です。
従来のヒーターは反応が遅く、温まるのに時間がかかり、冷却にも長い時間が必要です。さらに、ソフトウェアとの連携もうまくいかないため、デジタルツインを作成するのが困難になります。そのため、私たちはカーボンファイバーIRランプを採用しています。
実際の動作原理
通常の金属コイル式のヒーターは、空気を温めてから、その空気を使って部品を温めます。これは非効率的です。
一方、カーボンファイバーは異なります。熱を直接基板に送り込むので、中間媒体が不要で、周囲の空気を温める無駄なエネルギーも不要です。
その結果、非常に高速に加熱できます。
不必要な熱が部屋内に放出されないため、クリーンルームのエアコンも余計な労力を使わずに済みます。つまり、全体の環境がより安定するのです。
データの同期
スマートファブの性能は、フィードバック回路の良し悪しによって決まります。センサーがわずかな温度の変化を検出した場合、対流オーブンがそれに追いつくまで数分も待つわけにはいきません。
当社のIRシステムはPLCの電源に直接接続され、ミリ秒単位で出力を調整できます。これにより、従来の方式で問題となる「熱慣性」が解消されます。どこに熱が行くかを正確に把握でき、すべてのウェーハが同じ条件で処理されます。これにより、プロセスの不確実性がなくなります。
注意点
もちろん、これは魔法ではありません。高密度のIRアレイは、小さなスペースで大きな効果を発揮します。
配線がピーク負荷に耐えられるかを確認する必要があります。配電能力が低いと、電圧が下がってしまいます。また、ワット数にも注意が必要です。適切な遮蔽がなければ、近くにある敏感な電子機器が壊れてしまう可能性があります。
一般的には、これらのランプを閉ループPIDコントローラーと一緒に使用することを推奨します。これにより、温度が目標値を超えるのを防げます。
直接IR加熱に切り替えることで、熱処理プロセスは単なる鈍い道具から精密なツールへと変わります。これにより、設計がより簡単になり、作業も楽になります。