高温用テープ製造工場

ファブ内では、温度の変動は単なる校正上の問題にとどまりません。それによってウェーハが破棄されてしまいます。フォトレジストを加熱する際に1℃の変動があるだけで、CD値が変わってしまい、また不均一な乾燥によって水痕が残り、結果として歩留まりが低下します。特に高温環境下では、一定で再現性の高い温度管理が...