グローブボックス内で加熱するのはやめよう：より効果的な熱処理方法
半導体製造において、グローブボックス内の部品を加熱しようとしたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。部品を温めたいけれど、装置全体をオーブンのようにしてしまったくないのです。
従来の対流式ヒーターは、力任せに加熱するため、ボックス内のすべての部分が高温になってしまいます。すると、内壁に高温部分ができ、シール部分が劣化し始め、装置を操作する人々も不安になります。本当に厄介です。
私たちは別の方法を採用しています。つまり、指向性赤外線を使って加熱するのです。
重要なのは、熱がどのように移動するかという点です。
対流式ヒーターのように空気を動かすのではなく、赤外線はエネルギーを一直線に送ります。まるで懐中電灯のようですが、熱を発する形です。私たちは、対象となる部品が効果的に熱を吸収できる特定の波長のランプを使用します。一方、ボックスのステンレス製の壁面は、そのエネルギーを反射させます。
その結果、対象となる部品は高温になりますが、ボックスの壁面は冷たいままです。これだけです。
適切な機器の選択
私たちは通常、短波長の石英素子を使用します。なぜかというと、速いからです。本当に速いのです。正確な温度に到達させる必要がある場合、空気が温まるのを待っているわけにはいきません。短波長の赤外線はほぼ即座に反応します。
しかし、出力の調整には注意が必要です。適切な保護措置がなければ、過度な加熱によって薄膜コンポーネントが変形してしまう可能性があります。バランスを取る必要があります。目標値を超えないようにするためには、PIDコントローラーと、迅速に温度を測定できるサーミスタを組み合わせるのが良いでしょう。
自分の工場での利用方法
これらの装置は、カスタムメイドのものとして作成することもできますし、単純に交換可能な形で使用することもできます。
ビームが非常に集中しているため、グローブボックス内に重い断熱材を入れる心配もありません。そうすれば、内部の空間が清潔に保たれ、熱によってプラスチックが劣化するという問題も起きません。
最後に、配線を確認してください。十分な容量の配線であることを確認してください。電圧降下が起きると、加熱の精度が低下してしまいます。正確な仕様を実現する上では、これは避けたいことです。