チューブの破裂を防いで、一日を台無しにしないようにする
バイオセンサーの製造において、1つの不良なランプがあるだけで、大量のウェーハが台無しになってしまいます。これは本当に悪夢的な状況です。 高負荷状態でクォーツチューブが破裂すると、単なる稼働停止だけでは済みません。ガラスの破片や金属の粉が作業場全体に飛び散ります。クリーンルームからそのようなものを取り除くのはほぼ不可能です。
どうやって爆発を防ぐのか
私たちは2つの点に重点を置いています。それは、熱の管理と、汚れの拡散を防ぐことです。 このような故障は、主にシール部分や偶発的な高温部分で起こります。これを防ぐために、高純度の合成クォーツを使用しています。この素材は高温になってもあまり膨張しないため、急激な温度変化にも耐えられ、微細な亀裂が生じず、結果として破裂することもありません。 しかし、最悪の事態にも備えています。 二次的な保護装置や特別なコーティングを施しています。これはまるで保険のようなものです。内部のフィラメントが故障してチューブが割れても、外側の保護層が破片を受け止めてくれます。確かにランプは失われますが、ウェーハは守られます。
熱対策
高出力のIRランプを狭い空間に詰め込むと、チューブ内の圧力が非常に高くなります。これに対処するために、ガスの量を正確に調整し、内部の圧力と外部の空気の圧力をバランスさせています。 また、冷却にも注意が必要です。 高出力のIRランプは大量の熱を放ちます。もし冷却風が十分でなければ、ランプの端から熱が逃げず、接続部が変形してしまいます。そうなるとアーク現象が起き、最終的にランプが壊れてしまいます。これは連鎖反応です。
メンテナンスを簡単にする
私たちは、ユーザーの手間を増やしたくありません。そのため、迅速に交換できるように設計しています。 標準化された接続部を使用しているため、配線を再構築する必要なく、新しいランプを簡単に取り付けることができます。まさにプラグアンドプレイです。 アドバイスとしては、ランプが壊れるのを待たないでください。 定期交換を行いましょう。2,000時間ごとにランプを交換するのが良いでしょう。火曜日の午後にランプを交換する方が、汚染された製造室を1週間かけて清掃するよりもずっと安上がりです。