クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つ方法
クラス100のクリーンルームを運営している人なら、その苦労はよくわかるでしょう。微細なほこりと戦っているわけですが、あらゆる機器が潜在的な問題源となり得ます。一般的なヒーターは特に悪影響を与えやすく、ガスを放出したり、剥がれ落ちたりして、望ましくない場所にゴミが蓄積されてしまいます。
私たちはより良い方法を見つけました。高純度の合成石英の赤外線ランプと、高性能なデジタルコントローラーを使うことで、汚れを生じさせずに作業を行うことができます。
石英が重要な理由
溶融シリカでできた石英は、極めて純度が高いのです。加熱されると、有害な揮発性有機化合物や金属片が発生しません。金属製のヒーターは時間が経つと酸化したり剥がれたりしますが、石英はそうではありません。
実際の魔法は、熱がどのように伝わるかにあります。赤外線放射なので、エネルギーは波として直接ワークピースに届きます。熱風が製品の上を吹き抜けることはないので、ほこりが舞い上がってウェーハや光学部品に付着する心配もありません。まさにクリーンで直接的な熱供給です。
心配の必要のない制御機能
誰もが、石英管が割れたり、基板が破損したりするような「ホットスポット」に悩まされたくはありません。だからこそ、私たちはデジタル式のIRコントローラーを使用しています。
これらのコントローラーは非常に速いです。数秒で目標温度に到達し、PID制御によって温度が安定します。温度の変動を気にする必要もなく、常に適切な温度が維持されます。
欠点もある（完璧なものはない）
正直に言うと、高純度の石英は壊れやすいのです。厚手のステンレス製ヒーターのように扱うわけにはいきません。
これらのランプを設置する際は、取り付けブラケットに緩衝材を用意することが大切です。激しい振動があると石英が割れてしまう可能性があります。また、電源ケーブルにも注意が必要です。ランプ自体は清潔ですが、もし配線がクリーンルーム向きでなければ、汚染物質が内部に入ってしまいます。
既存の製造ラインに組み込む方法
これらのランプは、既存の半導体や医療機器の製造ラインに簡単に組み込むことができます。もし現在、従来の対流式オーブンを使用しているのであれば、IRランプに切り替えることで、装置のサイズを小さくし、長時間の予熱時間を省くことができます。
最後に一つアドバイスです。冷却ファンにはHEPAフィルターを装着してください。部屋の圧力や純度を適切に保つためです。